【摘 要】
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中科院光电技术研究所研制成功1.5～2μm直接分步重复投影光刻机,日前顺利通过了由中科院学部委员王守武、林兰英、李志坚主持的中科院院级鉴定。
Institute of Optoelectron
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中科院光电技术研究所研制成功1.5～2μm直接分步重复投影光刻机,日前顺利通过了由中科院学部委员王守武、林兰英、李志坚主持的中科院院级鉴定。
Institute of Optoelectronics Technology, Chinese Academy of Sciences successfully developed 1.5 ~ 2μm direct step by step projection lithography machine, recently passed by the CAS Academician Wang Shouwu, Lin Lanying, Li Zhijian presided over the CAS accreditation.
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