Fabrication of Nanoscale Step Height Structure Using Atomic Layer Deposition Combined with Wet Etch

来源 :中国机械工程学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaojia1118

【摘要】

：

为 nanosteps 的制造使用的当前的技术被变瘦的层生长然后离子横梁通常做。也有额外的电影，在步表面上变得以便减少粗糙。整个过程因此是耗时的。在这篇论文， nanoscale 步高度

【作者】

：

WANG Chenying YANG Shuming JIN

【机构】

：

StateKeyLaboratoryforManufacturingSystemsEngineering,ElectronicMaterialsResearchLaboratory

【出处】

：

中国机械工程学报：英文版

【发表日期】

：

2016年1期

【关键词】

：

台阶结构原子层沉积制备技术湿法刻蚀纳米级 AL2O3薄膜沉积相氧化铝薄膜 atomic layer deposition （ALD） wet et

【基金项目】

：

Supported by National Natural Science Foundation of China（Grant No. 51175418）, Major Research Program on Nanomanufacturing of National Natural Science Foundation of China（Grant No. 91323303）, Fund of

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为 nanosteps 的制造使用的当前的技术被变瘦的层生长然后离子横梁通常做。也有额外的电影，在步表面上变得以便减少粗糙。整个过程因此是耗时的。在这篇论文， nanoscale 步高度结构被原子层免职(ALD ) 和湿蚀刻技术制作。根据步高度价值可追踪，制造过程是可控制的。因为 ALD 技术能种许多材料，铝氧化物(艾尔 2 O 3) 被用来制作 nanostep。有艾尔 2</sub

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