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MEMS并联开关是MEMS（微机电系统）的最重要的器件之一，由于其在高频状态下表现出的高隔离度及低插入损耗，以及与半导体开关相比所具有的极低的直流功耗，故在微波领域的应用越来越受到关注。本文着重分析了开关在开关时对传播的电磁信号的影响。文中给出了MEMS电容式并联开关在充放电时的电磁模型，描述了开关在充放电时的电磁场，分析了开关在充放电时产生的变化电磁场对信号的干扰情况。