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为改善氧化物半导体薄膜的特性，采用真空热蒸发法在玻璃衬底上制备稀土Dy掺杂纳米CdO薄膜并进行热处理，对薄膜进行结构、电学和光学特性进行测试分析。实验结果给出：掺杂稀土Dy后CdO薄膜沿（111）晶向的衍射峰增强，随掺Dy含量增大峰强度逐渐减弱，掺Dy含量为5％时可促进CdO薄膜晶粒的生长，改善薄膜晶相结构特性。制备的薄膜表面颗粒均匀，存在颗粒聚集现象。掺Dy含量为9％时，在波长大于900 nm的范围透光率可达90％，高于纯CdO薄膜。