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期刊论文
浅谈膜厚控制仪软件实践
浅谈膜厚控制仪软件实践
来源 :中国科技博览 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mym890419
【摘 要】
:
膜厚控制仪可以利用自身的闭环回路对镀膜过程中膜料的沉积速率、膜层厚度进行实时的监测和控制,以使镀膜效果达到最佳状态。
【作 者】
:
阎彦
王海阔
【机 构】
:
中国有色(沈阳)冶金机械有限公司
【出 处】
:
中国科技博览
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
石英晶体
频率
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膜厚控制仪可以利用自身的闭环回路对镀膜过程中膜料的沉积速率、膜层厚度进行实时的监测和控制,以使镀膜效果达到最佳状态。
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