特种气体的配气装置及方法

来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户：flysky1979

【摘要】

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<正>申请(专利)号:201710822033.8公开(公告)日:2018-03-13申请(专利权)人:清远先导材料有限公司摘要:本发明涉及一种特种气体的配气装置,所述配气装置包括置于同一高度的N个

【出处】

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低温与特气

【发表日期】

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2018年02期

【关键词】

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特种气体配气装置

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<正>申请(专利)号:201710822033.8公开(公告)日:2018-03-13申请(专利权)人:清远先导材料有限公司摘要:本发明涉及一种特种气体的配气装置,所述配气装置包括置于同一高度的N个同样的目标气瓶、N根金属管、一分流圆轴,每一目标气瓶通过一根金属管连接在分流圆轴上,所述分流圆轴与原料

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