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针对直线电机驱动进给系统跟踪小幅往复轨迹时，摩擦力造成较大的跟踪误差这个问题，开展摩擦力补偿研究。通过对不同位移幅值的往复运动实验数据进行挖掘，利用摩擦力位移曲线对摩擦特性进行描述，归纳成两类典型情况。在MS模型基本形式的基础上，构建了可涵盖这两类摩擦特性的MS模型扩展形式，并提出了线性化参数辨识方法和模型参数选择方法。采用实时性更佳的前馈策略进行摩擦力补偿实验。实验结果表明：由摩擦力造成的跟踪误差均方根下降了32．44％，最大值下降了47．73％，效果显著。