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综述和分析了ｉ线光学光刻技术的现状和发展。指出结合移相掩模技术和离轴照明技术，可在确保焦深的基础上大幅度提高成像分辨率。
i线光学光刻技术及其发展潜力
【摘 要】
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综述和分析了ｉ线光学光刻技术的现状和发展。指出结合移相掩模技术和离轴照明技术，可在确保焦深的基础上大幅度提高成像分辨率。
【机 构】
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南京电子器件研究所,210016
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1999年4期
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