铜线键合氧化防止技术

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铜线以其相较传统金线更加良好的电器机械性能和低成本特点,在半导体引线键合工艺中开始广泛应用。但铜线易氧化的特性也在键合过程中容易带来新的失效问题。文中对这种失效机理进行了分析,并对防止铜线键合氧化进行了实验和研究。
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