Simulation and prediction in laser bending of silicon sheet

来源 :中国有色金属学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shenghuocc

【摘要】

：

The laser bending of single-crystal silicon sheet (0.2 mm in thickness) was investigated with JK701 Nd:YAG laser. The models were developed to describe the beam

【作者】

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WANG Xu-yue XU Wei-xing XU Wen

【机构】

：

KeyLaboratoryforPrecisionandNon-traditionalMachiningTechnologyoftheMinistryofEducation

【出处】

：

中国有色金属学报：英文版

【发表日期】

：

2011年A01期

【关键词】

：

激光弯曲硅钢片预测模拟 ND:YAG激光器脉冲激光应力应变分布激光扫描 laser bending silicon sheet pulsed l

【基金项目】

：

Projects （50975041, 50775019） supported by the National Natural Science Foundation of China, Projects （20062181, 2008S054） supported by Liaoning Province＇s Government Science Fund, China

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The laser bending of single-crystal silicon sheet (0.2 mm in thickness) was investigated with JK701 Nd:YAG laser. The models were developed to describe the beam characteristics of pulsed laser. In order to simulate the process of laser bending, the FEM so

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