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本文首先由理论分析导出薄片压电陶瓷激振的悬臂式轻拍探针振幅─—频率表示式．该公式为振幅、相位或频率测量的轻拍式探针用于待测表面瞄准（或定位）技术提供理论依据．同时，在上述理论分析基础上作了大量实验，从获得的数据中，一方面验证理论分析的适用范围，另外也提出了最佳定位点的存在以及它的判别方法．
轻拍式探针和光杠杆
【摘 要】
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本文首先由理论分析导出薄片压电陶瓷激振的悬臂式轻拍探针振幅─—频率表示式．该公式为振幅、相位或频率测量的轻拍式探针用于待测表面瞄准（或定位）技术提供理论依据．同时，在上述
【机 构】
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中国计量学院计测工程系!浙江杭州,310034
【出 处】
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中国计量学院学报
【发表日期】
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1999年1期
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