【摘 要】
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1.引言据报导,采用不同的方法测量溅射离子泵抽速,其结果是不同的。因此有必要对最常用的几种测量方法进行系统研究。国际真空科学与技术协会(IUVST)建议用费希尔(Fisher)和
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1.引言据报导,采用不同的方法测量溅射离子泵抽速,其结果是不同的。因此有必要对最常用的几种测量方法进行系统研究。国际真空科学与技术协会(IUVST)建议用费希尔(Fisher)和莫森(Mo-mmsen)提出的测量方法作为标准法。图1给出了该方法的示意图。它是根据气流穿过小孔(其
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