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回顾了步进高度测量技术在纳米计量中的应用.分析了在步进高度测量技术中的一些分析方法、算法和误差源,表明了不同的算法会导致不同的结果.提出了步进高度测量中的最佳操作过程.
步进高度测量技术
【摘 要】
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回顾了步进高度测量技术在纳米计量中的应用.分析了在步进高度测量技术中的一些分析方法、算法和误差源,表明了不同的算法会导致不同的结果.提出了步进高度测量中的最佳操作
【机 构】
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美国北卡罗来纳大学机械工程与制造科学系
【出 处】
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纳米技术与精密工程
【发表日期】
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2004年3期
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