CORRELATION BETWEEN CONSTITUENT AND SPUTTERING RATE OF BINARY ALLOYS IN GLOW DISCHARGE LAMP

来源 :Acta Metallurgica Sinica(English Edition) | 被引量 : 0次 | 上传用户：aineast

【摘要】

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Investigation was made of the sputtering rate in glow discharge lamp with relaion toconstituent of 25 different specimens of 6 binary systems.namely,Cr-Fe,Bi-Sb

【出处】

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Acta Metallurgica Sinica(English Edition)

【发表日期】

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1992年12期

【关键词】

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eathode SPUTTERING GLOW DISCHARGE BINARY alloy SPUTTERING RATE eathode sputterin

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Investigation was made of the sputtering rate in glow discharge lamp with relaion toconstituent of 25 different specimens of 6 binary systems.namely,Cr-Fe,Bi-Sb,Cu-Zn,Ag-Cu,Al-Zn and Cd-Sn.by measuring mass loss sfter each sputtering under constantAr pres

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