【摘 要】
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Bell Labs. Record 52 (11), 1974, 刊载了W.Robert Sinclair等人的一篇文章,谈到一种用于制造集成电路以及其他半导体器件的半透明的氧化铁视透式掩膜,它具有坚固,高反差、
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Bell Labs. Record 52 (11), 1974, 刊载了W.Robert Sinclair等人的一篇文章,谈到一种用于制造集成电路以及其他半导体器件的半透明的氧化铁视透式掩膜,它具有坚固,高反差、高分辨率等优点,图案的边缘很清晰。
Bell Labs. Record 52 (11), 1974, published an article by W. Robert Sinclair et al., Addressing a semitransparent iron oxide transmissive mask for the manufacture of integrated circuits and other semiconductor devices which With strong, high contrast, high resolution, etc., the edge of the pattern is very clear.
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