【摘 要】
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激光非接触测量方法已被广泛应用于在机测量加工件，而被测工件表面粗糙度和测量距离对位移传感器精度的影响则少有研究。本文针对位移变化时不同参数的表面粗糙度对工件测量精度的影响，分析激光位移传感器测量表面粗糙度时的误差产生原理，设计了结合粗糙度和位移两项影响因素的误差测量实验，获得了激光干涉仪和激光位移传感器的位移数据。以激光干涉仪数据为基准计算出误差值，进而拟合获得误差模型。实验结果表明，经误差模型补
【基金项目】
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国家自然科学基金（51905377）； 天津市自然科学基金（20JCQNJC00040,20JCQNJC00050,18JCQNJC75600）；
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激光非接触测量方法已被广泛应用于在机测量加工件，而被测工件表面粗糙度和测量距离对位移传感器精度的影响则少有研究。本文针对位移变化时不同参数的表面粗糙度对工件测量精度的影响，分析激光位移传感器测量表面粗糙度时的误差产生原理，设计了结合粗糙度和位移两项影响因素的误差测量实验，获得了激光干涉仪和激光位移传感器的位移数据。以激光干涉仪数据为基准计算出误差值，进而拟合获得误差模型。实验结果表明，经误差模型补偿后，测量精度提高到±7μm,较高地提升了测量精度，在机床在机测量上有一定应用价值。
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