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在考虑静电力作用下，利用系统动态模型对单轴电容式加速度计机进行电耦合分析，低g值加速度的作用下感应质量块系统基底产生的微位移（nm级）和系统测量灵敏度，并采用差分电容电路输出便于提取fF（10-15F）级电容变化信号。
单轴微加速度器机电耦合分析
【摘 要】
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在考虑静电力作用下，利用系统动态模型对单轴电容式加速度计机进行电耦合分析，低g值加速度的作用下感应质量块系统基底产生的微位移（nm级）和系统测量灵敏度，并采用差分电容电路输
【机 构】
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中煤科工集团西安研究院有限公司
【出 处】
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内蒙古煤炭经济
【发表日期】
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2016年13期
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