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恒流应力下栅氧层与时间有关的击穿
恒流应力下栅氧层与时间有关的击穿
来源 :电子产品可靠性与环境试验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kyzy0082
【摘 要】
:
本文用恒定电流应力加速寿命试验研究了栅氧层与时间有关的击穿及诱性电荷的产生规律。
【作 者】
:
范焕章
杨心怀
【机 构】
:
华东师范大学,华东师范大学上海,200062,上海,200062
【出 处】
:
电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
MOS器件
恒流应力
栅氧层
击穿
可靠性
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本文用恒定电流应力加速寿命试验研究了栅氧层与时间有关的击穿及诱性电荷的产生规律。
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