320 240混合式非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究

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热释电非制冷红外探测器具有成本低廉、无需制冷等优异特点,在红外探测和红外成像领域占有极其重要的地位。从热释电非制冷焦平面探测器的晶片制备、红外吸收结构设计、倒装互连等关键工艺的研究进行了阐述,其研究试验最终实现了320×240的成像演示。 Pyroelectric uncooled infrared detectors with low cost, excellent performance without refrigeration, infrared detection and infrared imaging plays an extremely important role in the field. The key technologies of wafer preparation, infrared absorption structure design and flip chip interconnection of pyroelectric uncooled FPA detector are described. The research experiment finally achieves 320 × 240 imaging demonstration.
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