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并联微动工作台广泛应用于高精度场合。目前，微动工作台还沿用传统并联机构的精度分析方法，这些方法在应用中无法全面定量地反映出微动工作台的精度，因此有必要对其精度分析和评价方法进行研究。具体以一种六自由度微动工作台为例，利用微分方法得到了输入输出位姿的显示雅克比矩阵，并对线性化方法的精度进行验证。提出了精度系数的概念，利用精度系数判断机器人在应用范围内各种条件下是否会影响其运动精度。误差仿真算例显示该方法是可行的。