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阐述了降低真空系统漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,提高了真空系统的密封性能.
晶体生长设备的真空系统设针
【摘 要】
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阐述了降低真空系统漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,提高了真空系统的密封性能.
【机 构】
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西安理工大学晶体生长设备研究所,西安,710048
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年期
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