论文部分内容阅读
采用静电力驱动方式的MOEMS光开关，从运动机制上来说，是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果，对于微驱动器驱动条件的研究，不能单纯地从力矩平衡的角度来分析，应从动力学出发，才能较好地描述其运动过程，得到精确的驱动条件分析结果。本文从MOEMS倾斜下电极扭臂式光开关出发，介绍了动力学分析方法的过程，通过数值求解方程，得到器件的可动部分的运动速度等方面的结果，将其在不同驱动条件下的运动状态描述出来，从而达到确定光开关静电驱动条件的目的。