【摘 要】
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首先用自由基溶液聚合法合成羟基丙烯酸酯共聚物PHMSB,通过PHMSB上羟基和偏苯三酸酐(TMA)的酯化反应生成碱溶性树脂PHMSB-T,再用PHMSB-T上羧基与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反
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首先用自由基溶液聚合法合成羟基丙烯酸酯共聚物PHMSB,通过PHMSB上羟基和偏苯三酸酐(TMA)的酯化反应生成碱溶性树脂PHMSB-T,再用PHMSB-T上羧基与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应,以三步法合成了碱溶性光敏丙烯酸树脂PHMSB-T-G。重点讨论了催化剂种类、催化剂用量、反应温度对第二步反应转化率的影响,用红外光谱(IR)、核磁共振氢谱(1H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、元素分析、差示扫描量热法(DSC)等对所得树脂进行结构表征,初步探索了PHMSB-T-G在光成像体系中的应用。结果表明:以PHMSB-T-G为基体树脂的光致抗蚀剂图像分辨率可以达到25μm。
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