【摘 要】
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利用正交试验确定出化铣溶液的最佳配比(氢氟酸:硝酸:缓蚀剂=1:1:9～10),并在化铣溶液的最佳条件下进行了验证性试验,结果表明,化铣溶液稳定,再现性好,成品表面质量好。采用本
【机 构】
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西北有色金属研究院西安710016
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利用正交试验确定出化铣溶液的最佳配比(氢氟酸:硝酸:缓蚀剂=1:1:9～10),并在化铣溶液的最佳条件下进行了验证性试验,结果表明,化铣溶液稳定,再现性好,成品表面质量好。采用本试验确定的化学铣切工艺,将厚度为12μm(质量厚度为5.4 mg/cm~2)的钛箔加工到了厚度为4 μm(质量厚度为1.8 mg/cm~2)的钛箔,加工精度≤±0.3 μm。
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