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采用真空镀锡膜，锡膜氧化，浸泡掺杂的方法研制了掺ＣａＯ的ＳｎＯ２薄膜气膜气敏元件。
CaO—SnO2薄膜乙醇气敏元件的研究
【摘 要】
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采用真空镀锡膜，锡膜氧化，浸泡掺杂的方法研制了掺ＣａＯ的ＳｎＯ２薄膜气膜气敏元件。
【机 构】
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南昌大学高新技术研究所,江西师范大学
【出 处】
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南昌大学学报(理科版)
【发表日期】
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1997年1期
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