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PSD元件具有分辨率高,检测电路简单,速度快等优点,是一种新型的敏感元件,本文研究了采用PSD作为敏感元件,半导体激光管作为发光元件设计激光位移传感器的有关问题。
采用线型PSD设计激光位移传感器的研究
【摘 要】
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PSD元件具有分辨率高,检测电路简单,速度快等优点,是一种新型的敏感元件,本文研究了采用PSD作为敏感元件,半导体激光管作为发光元件设计激光位移传感器的有关问题。
【机 构】
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哈尔滨工程大学,哈尔滨工业大学
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1996年03期
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