【摘 要】
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在较大孔径放大系数(>4)的情况下,结合实验结果,从拼接模式、被测面形、测量误差和不同孔径放大系数的角度出发,分析了各种因素对目标函数拼接技术精度的影响,为高精度检测和
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在较大孔径放大系数(>4)的情况下,结合实验结果,从拼接模式、被测面形、测量误差和不同孔径放大系数的角度出发,分析了各种因素对目标函数拼接技术精度的影响,为高精度检测和控制大口径光学元件表面面形(波前)提供了依据。
In the case of large aperture amplification factor (> 4), combining the experimental results, from the point of view of the splicing pattern, the measured surface shape, the measurement error and the aperture magnification factor, the effects of various factors on the accuracy of the target function splicing technique Influence, for the high-precision detection and control of large-diameter optical surface shape (wavefront) provides the basis.
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