【摘 要】
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本文研究了原子力显微镜的计量校准问题,建立了校准的数学模型,这个数学模型可以用于各种SPM的校准中。对于位移轴的非线性误差和耦和误差进行了校准,给出了校准后残余误差的
【机 构】
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本文研究了原子力显微镜的计量校准问题,建立了校准的数学模型,这个数学模型可以用于各种SPM的校准中。对于位移轴的非线性误差和耦和误差进行了校准,给出了校准后残余误差的测量结果。并对一块经过PTB检定的样板进行了测量,测量结果表明对于300nm的台阶高度,测量偏差平均为1.1nm
In this paper, the problem of metrological calibration of atomic force microscope is studied. A calibration mathematical model is established, which can be used in the calibration of various SPM. The nonlinear error and coupling error of the displacement axis were calibrated, and the measurement results of residual error after calibration were given. And a piece of PTB test samples were measured, the measurement results show that the step height of 300nm, the average measurement deviation of 1.1nm
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