【摘 要】
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在不同沉积温度和速率下，采用电子束蒸发法制备ZnSe薄膜样品，利用ZYGO GPI型干涉仪测试样品的应力行为，并采用X射线衍射（XRD）技术测试样品的晶向特征．实验结果表明，在不同条件下制备
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,云南国防工业职业技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（60778025,60708013）,浙江大学国防预研基金资助项目.
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在不同沉积温度和速率下，采用电子束蒸发法制备ZnSe薄膜样品，利用ZYGO GPI型干涉仪测试样品的应力行为，并采用X射线衍射（XRD）技术测试样品的晶向特征．实验结果表明，在不同条件下制备的ZnSe薄膜均呈现压应力，应力随着沉积温度升高而增大，在200℃应力达到最大值，之后应力随沉积温度升高呈下降趋势．XRD结果表明，沉积速率直接影响ZnSe薄膜的品向结构，进而改变ZnSe薄膜内应力；当沉积速率为1．5nm／s时，薄膜应力最小．
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