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采用时域有限差分和Padé近似计算了等边三角形、正方形和平行四边形微谐腔的模式频率和品质因子。数值结果表明等边三角形谐振腔中的谐振模式具有较高的品质因子，这主要是由于靠边三角形谐振腔中的模式在横向上得到了完全的限制，而在其它两种谐振腔中，模式在横向上只是得到部分限制。对于边长为4um，折射率为3.2的等边三角形谐振腔，发现在1.55um波长处的模式品质因子可达5.5×10^3。