【摘 要】
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利用磁控溅射在柔性基底上制备了大面积的TiO2/Ag/Ti/TiO2多层膜,其中TiO2和Ag分别采用中频反应溅射和直流磁控溅射制备,同时采用Ti作为过渡层,有效地防止了在溅射最外层TiO2
【机 构】
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北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心
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利用磁控溅射在柔性基底上制备了大面积的TiO2/Ag/Ti/TiO2多层膜,其中TiO2和Ag分别采用中频反应溅射和直流磁控溅射制备,同时采用Ti作为过渡层,有效地防止了在溅射最外层TiO2时对Ag膜连续性的破坏。利用紫外可见分光光度计,四探针电阻仪,扫描电子显微镜,红外比辐射率测量仪对薄膜的表面形貌和光电特性进行了表征,重点研究了不同膜层厚度对多层膜可见光透过率,方块电阻和红外发射率的影响。结果表明,Ag层厚度对多层膜的方块电阻和红外发射率有决定性的影响,而TiO2层厚度对此影响不大。
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