【摘 要】
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绝缘体上硅(SOI,silicon-on-insulator)作为CMOS的改进技术,于1978年被推出,这种技术能够提高器件速度、降低功耗、减小软误差、抗锁定、减化制造工艺,以及减小器件尺寸。SOI
【机 构】
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INTERNATIONAL.SEMATECH,INTERNATIONAL.SEMATECH
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绝缘体上硅(SOI,silicon-on-insulator)作为CMOS的改进技术,于1978年被推出,这种技术能够提高器件速度、降低功耗、减小软误差、抗锁定、减化制造工艺,以及减小器件尺寸。SOI材料最初是用于小规模的利基(niche)市场,主要是军用。而今,已明显扩展了在主流方面的应用。最近几年,S
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