【摘 要】
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一、引言应力迁移（stressmigration。，简称SM）的发现和研究始于1984年[1]。从那时起，就引起了各国学者的广泛重视，许多人对它进行了大量的研究，从现象、机制、物理模型、分析方法、
【机 构】
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一、引言应力迁移（stressmigration。，简称SM）的发现和研究始于1984年[1]。从那时起，就引起了各国学者的广泛重视，许多人对它进行了大量的研究，从现象、机制、物理模型、分析方法、影响因素以及对VLSI可靠性的影响等多方面进行了探索。但迄今为止，仍有许多方面未能得到
I. INTRODUCTION The discovery and study of stress migration (SM) began in 1984 [1]. Since then, it has attracted a great deal of attention from scholars all over the world, and many people have carried out a great deal of research on it from many aspects such as phenomenon, mechanism, physical model, analysis method, influencing factors and the influence on VLSI reliability . However, so far, many aspects remain unattainable
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