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根据大功率微波电真空器件中衰减材料的作用及对衰减材料的要求,介绍了一种新型的FeSiAl薄膜衰减材料,并对这一材料的特点、微观结构及衰减机制进行了分析.
用于大功率微波器件的新型薄膜衰减材料
【摘 要】
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根据大功率微波电真空器件中衰减材料的作用及对衰减材料的要求,介绍了一种新型的FeSiAl薄膜衰减材料,并对这一材料的特点、微观结构及衰减机制进行了分析.
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2004年3期
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