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ZnO是最早发现的金属氧化物气敏材料,对其掺杂一直是研究的一个热点。采用机械球磨法制备了22种不同掺杂的纳米Zn O气敏材料,通过乙醇、丙酮、苯的测试,系统对比了掺杂元素的化学性质,如离子半径、化合价、元素周期等对Zn O气敏性能的影响。掺杂元素的离子半径为0.072-0.088 nm时,传感器对被测气体的响应比掺杂其他离子半径的高。不同周期掺杂元素对Zn O纳米气体传感器的选择性有一定的影响。