砷化镓(GaAs)材料质量表征技术的新进展

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本文综述了近年来砷化镓材料质量表征技术的新进展,包括半绝缘砷化镓体单晶和外延薄膜材料两个方面。着重指出了材料表征技术时材料研制和器件应用的重要作用。
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