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总结了GaN薄膜生长和器件制备中退火技术的应用情况,其中涉及退火工艺过程、作用机理以及由此产生的影响.
氮化镓研制中的退火技术
【摘 要】
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总结了GaN薄膜生长和器件制备中退火技术的应用情况,其中涉及退火工艺过程、作用机理以及由此产生的影响.
【机 构】
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电子十三所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2001年3期
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