【摘 要】
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随着微加工技术的发展和日益成熟，微型化光谱仪的研究得以快速发展。和传统的微型光谱仪相比，基于调制原理的光谱仪具有高光通量、高分辨率的性能优势，可广泛应用于生物、化学、
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院,暨南大学光电工程系
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随着微加工技术的发展和日益成熟，微型化光谱仪的研究得以快速发展。和传统的微型光谱仪相比，基于调制原理的光谱仪具有高光通量、高分辨率的性能优势，可广泛应用于生物、化学、医学等许多领域中对微弱辐射信号的探测。介绍了几种类型的调制光谱仪的结构特点和关键技术，分析了设计与制作微型调制光谱仪过程中存在的一些关键问题与难点，并总结了该领域的研究进展和发展趋势。
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