光刻机是支撑集成电路芯片制程不断减小的关键设备，而高性能的光刻机需要高加速度和高精度的运动台作为支撑。为了达到光刻机的各项工作指标，高性能的运动台控制方法必不可少。本文针对光刻机运动台的主流控制方法进行了梳理和介绍，首先介绍了运动台的工作原理及基本控制架构，然后从前馈控制、反馈控制、冗余驱动/冗余测量等方面对运动台控制方法进行具体介绍，旨在为光刻机运动台控制方法的进一步发展提供参考。
美国总统拜登在上任16个月后开启的“亚洲首访”引起广泛关注，最具争议的莫过于其正式推出的“印太经济框架”（IPEF）。然而，从各方反应及合作内容看，拜登力推的IPEF不可能成功。拜登试图对中国形成经济包围圈的谋划，必将如其前任特朗普推出对华贸易战那样遭遇挫败。
目的比较单侧椎弓根旁入路骨填充网袋椎体成形术（BKP）与单侧椎弓根入路经皮球囊扩张椎体后凸成形术（PKP）治疗骨质疏松性胸腰椎压缩性骨折的疗效。方法回顾性分析自2015-07—2017-12诊治的75例骨质疏松性胸腰椎压缩骨折。36行单侧椎弓根旁入路BKP手术治疗（BKP组）,39例行单侧椎弓根入路PKP手术治疗（PKP组）。比较2组手术时间、术中透视次数、骨水泥注入量、骨水泥充盈情况、骨水泥渗漏
目的：构建并实施静脉用药调配中心成品核对岗位标准化管理体系，保障临床用药安全。方法：统计郑州大学第一附属医院静脉用药调配中心不合格成品问题及占比，采用问卷调查法统计影响药师成品核对质量的相关因素，从成品核对耗时、药品调配残留判定标准、工作内容及岗位说明等方面建立标准化管理系统并实施，比较实施前后不合格成品检出率。结果：共发现11种不合格成品问题，19个成品核对质量影响因素，成品核对耗时平均11 秒
为了以简单的寻优方法获得满足工程应用需要的满意解，提出一种基于有限次随机抽样的精英优化法。推导了能够以期望的可信度获得性能排序处于前列的满意解所需的最少抽样次数，论述了采用精英优化法解决多目标优化问题的关键技术，提出了多目标条件下候选解的性能排序方法，指出精英优化法是一种通用方法，且便于程序实现。以IEEE 30节点系统为例论述了精英优化法在电力系统无功优化问题中的应用，并与采用其他优化方法获得的
随着连江县经济快速发展，工业项目落地，人口增多，需水量逐步增大，亟需按照发展要求，通过城乡供水一体化项目建设，优化水资源配置，以满足区域用水需求。该文在分析连江县供水现状及存在问题的基础上，通过水量平衡分析，确定连江县城乡供水一体化“十四五”规划规模及建设任务；通过引调水工程建设、配水管网联通，推进区域联通、水源互补、联网联供建设，适度超前，提高水质，实现城乡供水跨越式发展，从根本上解决连江城区及
建筑结构设计是确定建筑主体框架构造的过程,是房建工程中最重要的阶段。结构设计不仅要考虑几何空间美感、结构艺术性,形构的推陈出新,更要充分考量力学因素,考虑结构的稳定性、抗震性,以保证建筑使用的安全性。当然,结构性能的稳定与否和多种因素相关,除了符合结构力学原理之外,建筑材料也是影响房建结构安全性能和外观美感的因素之一。在人们对建筑的外观美感和安全性能要求不断提高的背景下,设计师需要不断尝试新的结构
【目的/意义】从海量自助餐用户评论数据中抽取有效关键词构建主题和主题词，协助商家了解用户口碑，进而更好的改善餐饮行业的管理水平。【方法/过程】通过融合TF-IDF、TextRank和LMKE三种不同的关键词抽取方法获取最优关键词，再对抽取的关键词进行语义聚类、主题识别、主题词挖掘和主题权重计算，最后在采集的美团数据集上进行验证方法的有效性。【结果/结论】实验结果表明，三种关键词抽取方法的融合比单个
本文借鉴“四度六步”教学法的“四度”理念，以“如何正确书写化学方程式”为例，在深入研读课标和教材的基础上，实践探索通过创设有温度的课堂、有梯度的课堂、有深度的课堂和有宽度的课堂发展学生化学学科核心素养的有效策略。