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本文综述了硅材料中吸杂技术和吸杂机理,硅中氧碳氮杂质和氧沉淀对吸杂的影响和作用等研究的新进展,并就硅材料吸杂中存在的问题作了评述。
硅材料的吸杂研究
【摘 要】
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本文综述了硅材料中吸杂技术和吸杂机理,硅中氧碳氮杂质和氧沉淀对吸杂的影响和作用等研究的新进展,并就硅材料吸杂中存在的问题作了评述。
【机 构】
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浙江大学高纯硅及硅烷国家重点实验室杭州310027
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1992年4期
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