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针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差，采用UV—LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁，这样即可测量大变形薄膜的力学性能。实验结果表明，用UV—LIGA工艺制备的Ni金属S形弹簧具有良好的均匀性，在较大的变形范围内有很好的线弹性。
一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作
【摘 要】
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针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差，采用UV—LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁，这样即可测量大变形薄膜的力学性能。实验结果表明，用UV—LIGA工艺制备的Ni金
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家级重点实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2008年4期
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