PZT厚膜相关论文
采用ANSYS有限元软件建立了微型压电厚膜执行器的多物理场耦合仿真模型,求解了微型压电厚膜执行器B(0,3)模态的共振频率为80673 Hz......
曲面压电结构因其具有三维构形,能够实现空间信息的全向感知、响应和转换,在航空航海、工业控制、生物医学等领域得到了广泛的应用......
PZT厚膜以其驱动力强、频率范围宽、灵敏度高、兼容性强等优良性能,在航空航天、医疗诊断、电子信息等领域得到广泛应用。电射流技......
介绍了以硝酸锆、钛酸丁酯、乙酸铅为原料 ,去离子水、乙二醇乙醚为溶剂 ,采用新型Sol Gel技术 ,即将PZT陶瓷粉末分散于PZTSol中 ,......
超声换能器是一种在超声系统中进行声电转换的声学器件,其性能对超声系统至关重要。基于MEMS技术制备的压电超声换能器(Piezoelect......
采用新型sol-gel技术在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了厚度为2～60μm的PZT铁电厚膜材料;研究了PZT厚膜的结构及其介电、铁电性能.XRD......
期刊
在(100)单晶Si衬底上,采用MEMS工艺和丝网印刷方法制作了锆钛酸铅(PZT)厚膜热释电红外探测器,深入研究了PZT厚膜材料的制备方法与......
相比薄膜而言,厚膜具有更明显的电学效应.PZT厚膜材料制成的器件不仅工作电压低、使用频率高、能与半导体集成电路兼容,而且电学性......
采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构.基于半导体光刻技术,通过干法刻......
采用了丝网印刷工艺在硅片上制备了锆钛酸铅(PZT)薄膜,进行了相应的工艺分析.设计并仿真了平面光子带隙(UCPBG)结构,测试了结构的......
对PZT厚膜驱动的微变形镜（DM）进行了结构优化设计。基于有限元方法（FEM），分析了结构中各个参数对变形镜性能的影响。优化结果表明，单元边......
采用0-3复合法制备PZT（Pb Zr0.52Ti0.48O3）厚膜,通过陈化、静置、去除沉淀颗粒、浓缩等方法改良了浆料配制工艺,大大改善了厚膜的表......
采用丝网印刷工艺制备了Pb（Zr0．9T0．1）O3（PZT）厚膜，研究了过量PbO和Bi2O3－Li2CO3共同助烧对PZT厚膜低温烧结特性、微观结构、相构成以及介......
This paper reports that dense and crack-free(100)oriented lead zirconate titanate(Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,PZT)thick film embe......
制备了不锈钢基底压电厚膜微悬臂梁传感器。利用精密激光加工技术制备了厚度为100μm的不锈钢微悬臂梁基底,由于不锈钢具有良好的......
采用0-3复合法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了单层厚度0.9μm,总厚度10μm,并且无裂纹的Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3铁电薄膜.溶液中粉......
利用KOH溶液腐蚀结合SF6气体干法刻蚀工艺制备了锆钛酸铅（PbZr0.3Ti0.7O3，PZT）厚膜热释电红外探测器，得到了器件Si基背面完全悬空的微......
压电厚膜作为功能部件被广泛应用在传感、执行器件中,主要为平面膜结构。但在医学中的聚焦超声换能器、海洋中的水听器等,需要应用......
微型压电驱动器具有结构简单紧凑,响应速度快,低速大扭矩,电磁兼容性强等优点,在微型机器人、精密位移平台、医疗器械等高精度且对......
微驱动技术是研制MEMS执行器的核心技术。MEMS兼容PZT压电厚膜驱动技术是很有发展前景的微驱动技术。论文对PZT压电厚膜制备工艺;......
热释电红外探测器是一种可在室温下使用，光谱响应宽和工作频率宽的高可靠性的探测器，在电子防盗、人体探测器领域中具有重要的应用。......
近年来，基于PZT厚膜的超声换能器研究受到了广泛的重视。本文综述了PZT厚膜制备技术的发展情况，简要介绍了水下声纳和医用超声领域中......
