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碲镉汞液相外延薄膜生长技术与性能
碲镉汞液相外延薄膜生长技术与性能
来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:usrrmhta
【摘 要】
:
用液相外延的方法在CdZnTe衬底上生长Hg1-xCdxTe材料,获得了表面形貌好,位错密度低,组份均匀的碲匐汞外延材料,生长工艺对材料的参数控制有较好重复性,外延材料经热处理后,材料的P型和N型电学参数都达
【作 者】
:
黄根生
陈新强
【机 构】
:
中国科学院上海技术物理研究所半导体材料器件研究中心,中国科学院上海技术物理研究所半导体材料器件研究
【出 处】
:
红外与毫米波学报
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
液相外延
组份
电学参数
碲镉汞
薄膜生长
LPE
HgCdTe
composition
electrical parameter.
【基金项目】
:
国家自然科学基金!(编号 69425002)资助项目
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用液相外延的方法在CdZnTe衬底上生长Hg1-xCdxTe材料,获得了表面形貌好,位错密度低,组份均匀的碲匐汞外延材料,生长工艺对材料的参数控制有较好重复性,外延材料经热处理后,材料的P型和N型电学参数都达到较好的水平,并具有良好的可重复性。
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