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介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪.提出了耦合差动干涉的新方法.通过对光程差进行倍增,提高了干涉仪的分辨率和稳定性.该干涉仪结构简洁紧凑,光路布局对称性好,不存在死光程,容易装调,符合阿贝原则和结构变形最小原则,在10 mm(可以扩展至50 mm)测量范围内,获得了λ/1600的分辨率和纳米级的测量精度.