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当前平板显示屏的需求越来越多,其良率是人们关注的重点,平板显示屏检测仪器的分辨率、定位精度和稳定性是提高良率的关键。本文提出了基于安川控制器的平板检测仪器运动控制系统,实现了多轴电机的同步、稳定控制和系统的时序控制;同时通过以太网和MODBUS/TCP协议实现了控制器与人机界面(HMI)之间的通信,为构建人机交互系统和仪器的远程监控提供了基础。