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量子点的湿法腐蚀制备及尺寸分布研究
量子点的湿法腐蚀制备及尺寸分布研究
来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cs8613416
【摘 要】
:
介绍了用可见光光刻后用湿法腐蚀制备了GaAs/AlGaAs量子点的方法,并用小光点光荧光的方法检测了所制备量了点的均匀性,从理论上给出了量子点的尺寸分布,并结合多量子阱阱宽的涨落,分析了荧光
【作 者】
:
刘兴权
万明芳
【机 构】
:
中科院上海技术物理所红外物理国家开放实验室
【出 处】
:
红外与毫米波学报
【发表日期】
:
1998年6期
【关键词】
:
量子点
湿法腐蚀
荧光光谱
砷化镓
尺寸分布
quantum dots
wet etching
photoluminescence spectrum
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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介绍了用可见光光刻后用湿法腐蚀制备了GaAs/AlGaAs量子点的方法,并用小光点光荧光的方法检测了所制备量了点的均匀性,从理论上给出了量子点的尺寸分布,并结合多量子阱阱宽的涨落,分析了荧光峰的线型和展宽机制。
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