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由于超声振动复合加工过程很难通过动力学分析得到有效的切割机理的数学模型，而试验研究不失为解决该问题的一种有效方法。采用中心复合设计（Central composite design，CCD）试验方法，设计四因素三水平的SiC单晶片超声振动复合加工试验方案；引入响应曲面法建立切向锯切力、表面粗糙度与主要工艺参数（线锯速度、工件进给速度、工件转速和超声波振幅）的二阶关系模型，通过对试验数据的多元二次拟合，分别获得切削力和表面粗糙度的二次方程表达式；进一步分析实际加工条件对工艺参数的约束，并以提高SiC单晶片表