复合绒面透明导电薄膜研究

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【摘要】

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在常规非晶硅电池绒面SnO2衬底上,采用Zn:Al重量比为5%的金属靶直流反应磁控溅射沉积ZnO,构成复合绒面SnO2/ZnO透明导电膜.控制适当ZnO厚度,既能保持SnO2绒面效果,又可阻挡H

【作者】

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朱锋周祯华熊绍珍吴春亚李洪波麦耀华薛俊明耿新华

【机构】

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南开大学光电子所

【出处】

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太阳能学报

【发表日期】

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2003年3期

【关键词】

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SNO2 复合绒面膜直流反应磁控溅射透明导电薄膜非晶硅电池 Magnetron sputteringThin filmsZinc oxide

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在常规非晶硅电池绒面SnO2衬底上,采用Zn:Al重量比为5%的金属靶直流反应磁控溅射沉积ZnO,构成复合绒面SnO2/ZnO透明导电膜.控制适当ZnO厚度,既能保持SnO2绒面效果,又可阻挡H离子对SnO2的还原作用,可作为微晶硅电池的前电极.文中对ZnO沉积条件以及复合膜的形貌、电光性能进行了讨论.

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