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采用扫描电镜分析测量薄膜厚度中遇到的一些常见问题如图像漂移、薄膜脱落、样品过于倾斜、薄膜与基体界面不清晰等。结果表明：采取适当的手段如调整电镜参数、正确的样品制备方法等能够减小或完全消除这些问题，并得到科学、准确的测量结果。
扫描电镜测量薄膜厚度的问题分析
【摘 要】
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采用扫描电镜分析测量薄膜厚度中遇到的一些常见问题如图像漂移、薄膜脱落、样品过于倾斜、薄膜与基体界面不清晰等。结果表明：采取适当的手段如调整电镜参数、正确的样品制备
【机 构】
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西北有色金属研究院 陕西 西安
【出 处】
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科学导报
【发表日期】
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2004年期
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