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介绍了衍射法测量变间距光栅线密度的测量系统.该测量系统由激光器、准直镜、光栅转动台(含角度测量仪)、直线工作台、光栅调节架、探测器和待测光栅组成.分析了系统中各种误差对测量精度的影响,以及变间距光栅参数的变化对光学系统的影响和补偿办法.计算表明,该系统的测试精度满足光束线对光学系统的性能要求.
变间距光栅刻线密度的测试精度分析
【摘 要】
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介绍了衍射法测量变间距光栅线密度的测量系统.该测量系统由激光器、准直镜、光栅转动台(含角度测量仪)、直线工作台、光栅调节架、探测器和待测光栅组成.分析了系统中各种误
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2001年7期
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